75-09-2
二氯甲烷
→
~7%
75-79-6
甲基三氯硅烷
+
18171-02-3
trichloro(dichlorosilylmethyl)silane
67-66-3
氯仿
~4%
56-23-5
四氯化碳
~1%
18081-42-0
双(二氯硅基)甲烷
4142-85-2
二(三氯甲硅烷基)甲烷
7440-21-3
单质硅
16538-69-5
10025-78-2
三氯硅烷
4109-96-0
二氯硅烷