7440-21-3
单质硅
→
10026-04-7
四氯硅烷
+
13465-77-5
六氯乙硅烷
10025-78-2
三氯硅烷
13596-23-1
八氯三硅烷
7647-01-0
氯化氢
4098-89-9
diphenyl-bis(triphenylsilyl)silane