994-30-9
三乙基氯硅烷
→
~71%
2117-17-1
[amino(diethyl)silyl]ethane
617-86-7
三乙基硅烷
~33%
+
7664-41-7
液氨
2117-18-2
六乙基二硅氮烷
5290-29-9
三乙基乙酰氧基硅烷
358-43-0
三乙基氟硅烷