10025-78-2
三氯硅烷
+
80937-33-3
oxygen
7782-50-5
氯
→
7647-01-0
氯化氢
10026-04-7
四氯硅烷
81323-72-0
trichloro(hydroxy)silane
97190-50-6
sicl3ocl
10028-15-6
臭氧
10097-32-2
溴原子