1450-14-2
六甲基二硅烷
→
~81%
13528-88-6
1,1,2-三氯-1,2,2-三甲基二硅烷
+
4518-98-3
1,2-二甲基-1,1,2,2-四氯二硅烷
~15%
75-77-4
三甲基氯硅烷
4342-61-4
1,2-二氯四甲基二硅烷
75-78-5
二氯二甲基硅烷