16873-17-9
deuterium(•)
+
7440-21-3
单质硅
→
69103-84-0
trideuteriosilicon
13537-07-0
SILANE-D4
10026-04-7
四氯硅烷
Deuterium, atomic
13966-66-0
difluorosilylene
14835-14-4
trifluorosilicon
7783-61-1
四氟化硅
113687-09-5
CAS号:113687-09-5