| 四氟甲烷 基本信息 | |||
|---|---|---|---|
| CAS号 | 75-73-0 | 分子式 | CF4 |
| 分子量 | 88.00430 | 精确质量 | 87.99360 |
| PSA | 0.00000 | LogP | 1.47570 |
基本信息
展开↓ 
生产制备方法及用途展开↓
1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。
2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。
3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。
1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。[14]
物化性质展开↓
常温常压下稳定，避免强氧化剂、易燃或可燃物。不燃气体，遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险。化学性质稳定，不燃。常温下只有液氨-金属钠试剂能发生作用。
1.性状：无色无味气体[1]
2.熔点（℃）：-183.6[2]
3.沸点（℃）：-127.8[3]
4.相对密度（水=1）：1.96（-184℃）[4]
5.相对蒸气密度（空气=1）：3.04[5]
6.饱和蒸气压（kPa）：13.33（-150.7℃）[6]
7.临界温度（℃）：-45.5[7]
8.临界压力（MPa）：3.74[8]
9.辛醇/水分配系数：1.18[9]
10.溶解性：不溶于水，溶于苯和氯仿。[10]
11.临界密度（g·cm-3）：0.626
12.临界体积（cm3·mol-1）：141
13.临界压缩因子：0.279
14.van der Waals面积（cm2·mol-1）：4.600×109
15.van der Waals体积（cm3·mol-1）：27.330
16.Lennard-Jones参数（A）：4.5306
17.Lennard-Jones参数（K）：158.90
18.气相标准声称热(焓)( kJ·mol-1) ：-933.5
19.气相标准熵(J·mol-1·K-1) ：261.40
20.气相标准生成自由能( kJ·mol-1)：-888.8
21.气相标准热熔(J·mol-1·K-1)：61.05
安全信息展开↓ 
合成路线查看所有的合成路线75-72-9
氟里昂-13
→
~93%
75-73-0
四氟甲烷
75-71-8
二氯二氟甲烷
→
~84%
75-73-0
四氟甲烷
116-14-3
四氟乙烯
→
~16%
75-73-0
四氟甲烷
+
76-19-7
五氟丙烷
毒理性展开↓
1.急性毒性 暂无资料
2.刺激性 暂无资料
3.其他[11] LCLo：895000ppm（大鼠吸入，15min）
1.生态毒性 暂无资料
2.生物降解性 暂无资料
3.非生物降解性 暂无资料
4.其他有害作用[12] 温室气体，其造成温室效应的作用是二氧化碳的数千倍。氟代烃的低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
MSDS 展开↓|
第一部分：化学品名称
|
|
化学品中文名称：
|
四氟甲烷
|
|
化学品英文名称：
|
tetrafluoromethane
|
|
中文名称 2 ：
|
四氟化碳
|
|
英文名称 2 ：
|
carbon tetrafluoride
|
|
技术说明书编码：
|
76
|
|
CAS No. ：
|
75-73-0
|
|
分子式：
|
CF4
|
|
分子量：
|
88.01
|
|
第二部分：成分 / 组成信息
|
|
|
第三部分：危险性概述
|
|
危险性类别：
|
|
|
侵入途径：
|
|
|
健康危害：
|
能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
|
|
环境危害：
|
|
|
燃爆危险：
|
本品不燃，具窒息性。
|
|
第四部分：急救措施
|
|
皮肤接触：
|
|
|
眼睛接触：
|
|
|
吸入：
|
迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
|
|
食入：
|
|
第五部分：消防措施
|
|
危险特性：
|
不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
|
|
有害燃烧产物：
|
氟化氢。
|
|
灭火方法：
|
本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
|
|
第六部分：泄漏应急处理
|
|
应急处理：
|
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
|
|
第七部分：操作处置与储存
|
|
操作注意事项：
|
密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
|
|
储存注意事项：
|
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
|
|
第八部分：接触控制 / 个体防护
|
|
职业接触限值
|
|
|
中国 MAC(mg/m3) ：
|
未制定标准
|
|
前苏联 MAC(mg/m3) ：
|
未制定标准
|
|
TLVTN ：
|
未制定标准
|
|
TLVWN ：
|
未制定标准
|
|
监测方法：
|
|
|
工程控制：
|
生产过程密闭，全面通风。
|
|
呼吸系统防护：
|
一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
|
|
眼睛防护：
|
一般不需特殊防护。
|
|
身体防护：
|
穿一般作业工作服。
|
|
手防护：
|
戴一般作业防护手套。
|
|
其他防护：
|
避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。
|
|
第九部分：理化特性
|
|
主要成分：
|
纯品
|
|
外观与性状：
|
无色无臭气体。
|
|
pH ：
|
|
|
熔点 ( ℃ ) ：
|
-183.6
|
|
沸点 ( ℃ ) ：
|
-128.0
|
|
相对密度 ( 水 =1) ：
|
1.61(-130℃)
|
|
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ：
|
无资料
|
|
饱和蒸气压 (kPa) ：
|
13.33(-150.7℃)
|
|
燃烧热 (kJ/mol) ：
|
无意义
|
|
临界温度 ( ℃ ) ：
|
-45.5
|
|
临界压力 (MPa) ：
|
3.74
|
|
辛醇 / 水分配系数的对数值：
|
无资料
|
|
闪点 ( ℃ ) ：
|
无意义
|
|
引燃温度 ( ℃ ) ：
|
无意义
|
|
爆炸上限 %(V/V) ：
|
无意义
|
|
爆炸下限 %(V/V) ：
|
无意义
|
|
溶解性：
|
不溶于水。
|
|
主要用途：
|
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
|
|
其它理化性质：
|
|
第十部分：稳定性和反应活性
|
|
稳定性：
|
|
|
禁配物：
|
强氧化剂、易燃或可燃物。
|
|
避免接触的条件：
|
|
|
聚合危害：
|
|
|
分解产物：
|
|
第十一部分：毒理学资料
|
|
急性毒性：
|
LD50 ：无资料
LC50 ：无资料 |
|
亚急性和慢性毒性：
|
|
|
刺激性：
|
|
|
致敏性：
|
|
|
致突变性：
|
|
|
致畸性：
|
|
|
致癌性：
|
|
第十二部分：生态学资料
|
|
生态毒理毒性：
|
|
|
生物降解性：
|
|
|
非生物降解性：
|
|
|
生物富集或生物积累性：
|
|
|
其它有害作用：
|
该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。
|
|
第十三部分：废弃处置
|
|
废弃物性质：
|
|
|
废弃处置方法：
|
根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
|
|
废弃注意事项：
|
|
第十四部分：运输信息
|
|
危险货物编号：
|
22033
|
|
UN 编号：
|
1982
|
|
包装标志：
|
|
|
包装类别：
|
O53
|
|
包装方法：
|
钢质气瓶。
|
|
运输注意事项：
|
采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
|
|
第十五部分：法规信息
|
|
法规信息
|
化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。
|
|
第十六部分：其他信息
|
|
参考文献：
|
|
|
填表时间：
|
|
|
填表部门：
|
|
|
数据审核单位：
|
|
|
修改说明：
|
|
|
其他信息：
|
|
|
MSDS 修改日期：
|
|
分子结构与计算化学数据展开↓
1、摩尔折射率：7.3
2、摩尔体积（cm3/mol）：66.8
3、等张比容（90.2K）：105.0
4、表面张力（dyne/cm）：6.0
5、介电常数：无可用
6、偶极距（10-24cm3）：无可用
7、极化率：2.89
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:1.8
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:4
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积0
7.重原子数量:5
8.表面电荷:0
9.复杂度:19.1
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:1
上下游相关产品
