1450-14-2
六甲基二硅烷
→
~69%
1560-28-7
一氯五甲基二硅烷
75-76-3
四甲基硅烷
~10%
+
75-71-8
二氯二氟甲烷
812-15-7
五甲基二硅烷
75-77-4
三甲基氯硅烷
993-07-7
三甲基硅烷
75-45-6
氟里昂-22
75-78-5
二氯二甲基硅烷