| 三氟化氮 基本信息 | |||
|---|---|---|---|
| CAS号 | 7783-54-2 | 分子式 | F3N |
| 分子量 | 71.00190 | 精确质量 | 70.99830 |
| PSA | 3.24000 | LogP | 0.94190 |
基本信息
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生产制备方法及用途展开↓
在熔融氟铵酸存在下，采用氨直接氟化工艺，其反应式为：
反应产物经过除雾器、淋洗器、分子筛吸附器，以及真空蒸馏，可分别除去各种杂质，最后用低温法收集得到NF3。
1.NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。
2.用作高能燃料。[17]
物化性质展开↓
1.高纯NF3几乎没有气味，但商业用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性气味。临界温度气体。NF3是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350℃时，它的反应活性相当于氧，在高温下，NF3能与许多元素反应生成N2F4和相应的氟化物。三氟化氮是一种毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。
2.稳定性[12] 稳定
3.禁配物[13] 还原剂、易燃或可燃物
4.避免接触的条件[14] 受热
5.聚合危害[15] 不聚合
1.性状：无色、带霉味的气体。[1]
2.熔点（ºC）：-208.5[2]
3.沸点（ºC）：-129[3]
4.相对密度（水=1）：1.89（沸点，液体）[4]
5.相对蒸气密度（空气=1）：2.45[5]
6.临界温度（ºC）：-39.3[6]
7.临界压力（MPa）：4.53[7]
8.溶解性：不溶于水。[8]
安全信息展开↓ 
合成路线查看所有的合成路线7664-39-3
氢氟酸
+
4426-72-6
Carbamohydrazonic acid (9CI)
→
10036-47-2
四氟(代)肼
+
7783-54-2
三氟化氮
+
75-73-0
四氟甲烷
+
353-50-4
氟光气
10036-47-2
四氟(代)肼
+
201230-82-2
carbon monoxide
→
7783-54-2
三氟化氮
+
10578-16-2
dinitrogen difluoride
+
353-50-4
氟光气
+
2368-32-3
N,N-difluorocarbamoyl fluoride
10025-85-1
氯化氮
+
7782-41-4
氟
→
7783-54-2
三氟化氮
毒理性展开↓
1.急性毒性[9] LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）
2.刺激性 暂无资料
3.亚急性与慢性毒性[10] 大鼠于308mg/m3浓度下，每天吸入7h，共4~5个月，见肝、肾有轻至中度病理改变，脾肿大，尿氟增高。
1.生态毒性 暂无资料
2.生物降解性 暂无资料
3.非生物降解性 暂无资料
4.其他有害作用[11] 室温气体，会造成全球气候变暖。
MSDS 展开↓|
第一部分：化学品名称
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化学品中文名称：
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三氟化氮
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化学品英文名称：
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nitrogen trifluoride
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中文名称 2 ：
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英文名称 2 ：
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nitrogen fluoride
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技术说明书编码：
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67
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CAS No. ：
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7783-54-2
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分子式：
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NF3
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分子量：
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70.01
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第二部分：成分 / 组成信息
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第三部分：危险性概述
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危险性类别：
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侵入途径：
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健康危害：
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尚未见职业性中毒报道。
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环境危害：
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燃爆危险：
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本品助燃，有毒。
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第四部分：急救措施
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皮肤接触：
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眼睛接触：
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吸入：
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迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
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食入：
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第五部分：消防措施
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危险特性：
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强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至爆炸。与易燃物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸。
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有害燃烧产物：
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氟化氢。
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灭火方法：
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消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风向灭火。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：雾状水、泡沫。
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第六部分：泄漏应急处理
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应急处理：
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迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
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第七部分：操作处置与储存
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操作注意事项：
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严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩），戴化学安全防护眼镜，穿防毒物渗透工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与还原剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
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储存注意事项：
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储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
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第八部分：接触控制 / 个体防护
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职业接触限值
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中国 MAC(mg/m3) ：
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1
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前苏联 MAC(mg/m3) ：
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未制定标准
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TLVTN ：
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ACGIH 10ppm,29mg[F]/m3
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TLVWN ：
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未制定标准
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监测方法：
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工程控制：
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严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。
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呼吸系统防护：
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空气中浓度较高时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
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眼睛防护：
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戴化学安全防护眼镜。
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身体防护：
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穿防毒物渗透工作服。
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手防护：
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戴橡胶手套。
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其他防护：
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工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。
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第九部分：理化特性
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主要成分：
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纯品
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外观与性状：
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无色、带霉味的气体。
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pH ：
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熔点 ( ℃ ) ：
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-208.5
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沸点 ( ℃ ) ：
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-129
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相对密度 ( 水 =1) ：
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1.89( 沸点 , 液体 )
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相对蒸气密度 ( 空气 =1) ：
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无资料
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饱和蒸气压 (kPa) ：
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无资料
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燃烧热 (kJ/mol) ：
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无意义
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临界温度 ( ℃ ) ：
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无资料
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临界压力 (MPa) ：
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无资料
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辛醇 / 水分配系数的对数值：
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无资料
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闪点 ( ℃ ) ：
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无意义
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引燃温度 ( ℃ ) ：
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无意义
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爆炸上限 %(V/V) ：
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无意义
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爆炸下限 %(V/V) ：
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无意义
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溶解性：
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不溶于水。
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主要用途：
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用作高能燃料。
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其它理化性质：
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第十部分：稳定性和反应活性
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稳定性：
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禁配物：
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还原剂、易燃或可燃物。
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避免接触的条件：
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聚合危害：
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分解产物：
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第十一部分：毒理学资料
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急性毒性：
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LD50 ：无资料
LC50 ： 19000mg/m3 ， 1 小时 ( 大鼠吸入 ) ； 5600mg/m3 ， 4 小时 ( 小鼠吸入 ) |
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亚急性和慢性毒性：
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刺激性：
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对皮肤、粘膜有刺激作用。
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致敏性：
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致突变性：
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致畸性：
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致癌性：
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第十二部分：生态学资料
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生态毒理毒性：
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生物降解性：
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非生物降解性：
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生物富集或生物积累性：
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其它有害作用：
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无资料。
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第十三部分：废弃处置
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废弃物性质：
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废弃处置方法：
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根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
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废弃注意事项：
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第十四部分：运输信息
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危险货物编号：
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23016
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UN 编号：
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2451
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包装标志：
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包装类别：
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Z01
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包装方法：
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无资料。
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运输注意事项：
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铁路运输时须报铁路局进行试运，试运期为两年。试运结束后，写出试运报告，报铁道部正式公布运输条件。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、还原剂、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶，禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
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第十五部分：法规信息
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法规信息
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化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.3 类有毒气体。
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第十六部分：其他信息
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参考文献：
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填表时间：
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填表部门：
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数据审核单位：
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修改说明：
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其他信息：
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MSDS 修改日期：
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分子结构与计算化学数据展开↓
1、摩尔折射率：6.26
2、摩尔体积（cm3/mol）：52.1
3、等张比容（90.2K）：86.3
4、表面张力（dyne/cm）：7.5
5、极化率（10-24cm3）：2.48
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:1.9
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:4
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积3.2
7.重原子数量:4
8.表面电荷:0
9.复杂度:8
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:1
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